离子束抛光技术是一种先进的加工技术，是原子量级上的无应力、非接触式抛光工艺。抛光过程由计算机控制，具有加工精度高，无应力，加工面非常洁净无污染的特点，特别适合加工非球面镜面、正六边形镜面等。在真空室内建立二维机械扫描平台，平台上安装长寿命离子源，离子源产生的离子束流可以通过能量交换去除部分镜面材料。通过计算机软件控制离子束在镜面上各点的驻留时间实现对大口径镜面的精确修正，可以达到很高的加工精度。